【每週快訊】高潔凈邊緣接觸式aligner

只接觸晶圓的邊緣，實現了清潔定位的概念。自動識別晶圓的V形切口(NOTCH)及定向平邊，省略了上級控制器的設定。

同時也支援矽晶圓及玻璃片，對應各種尺寸的晶圓150mm,200mm,300mm SEMI/JEIDA矽晶圓。
可以通過RC232或RS485串列通信,或者光學I/O開聯通信的方式進行控制