核心技術與產品特色

一、突破性塗佈技術

• 透過獨家開發的創新狹縫噴嘴設計，可精準控制塗液的排出與分布。

• 可於晶圓、圓形及非標準形狀基板上，進行不浪費材料的選擇性塗佈，實現高均勻性與高良率。

• 與日本國立研究開發法人《物質・材料研究機構》共同開發負極材料的精密塗佈應用。

二、自動化與高效能

• 自動平行校正功能：在更換噴嘴後，可自動進行桌面與噴嘴的平行調整，縮短調機時間，提高生產效率。

• 管狀幫浦送液技術：低壓損、低粘度塗料也能穩定傳送，確保塗佈品質與機台壽命。

三、多功能塗佈機系列

• 可對應多樣化需求，如：

  • 高黏度材料塗佈

  • 噴霧塗佈

  • 微量塗佈

  • 超薄膜塗層（如鈣鈦礦等）

專利與獨創設計

創新噴嘴結構

• 採用具備低壓損結構設計的高效能狹縫噴嘴，搭配流體分析技術，精密控制液體流量與噴出型態。

薄板運送技術

• 搭載專利輸送平台設計，可穩定運輸超薄基板並精準定位，有效提升整體製程再現性。

Capillary Coater - 劃時代的節材設備

傳統狹縫塗佈機多針對矩形玻璃基板進行塗佈，KDT Capillary Coater突破性實現：

• 僅在工件（如矽晶圓）表面進行精密塗佈，不浪費塗料

• 適用於實驗開發階段，是開發型用途的最佳小型塗佈機