搭載伺服電機，本產品是應對EFEM開發的低價格、高性能智能傳送機器人，採用新的控制系統，動作更高速平穩。 與常規機相比運動範圍縮小了15%，調節器的容積也縮小了50%。

廠　　牌 : TAZMO

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EFEM（Equipment Front End Module）是半導體產業重要的自動化整合設備，能夠滿足客戶對高產量與高Throughput的需求。一體式EFEM晶圓傳送設備是源自日本品牌TAZMO，而其Robot，Opener與Aligner皆屬本公司產品(附帶走行軸、斜取(snake motion)、水平changer，load port可以應客戶要求做更靈活的LAYOUT，對應其他廠牌的LDP. – FOUP OPENER，例如：TDK，台灣平田等。

以本公司開發研製的處理器和傳送裝置為基準，按照要求能快速的設計和製造出專屬於你的一款設備的服務。