SEMI | 半導體先進製程與自動化系統
Semiconductor Technology針對 12 吋/8 吋前端晶圓製造(Front-End)及後段先進封裝測試(OSAT,如 CoWoS/Fan-out),半導體製程設備對環境的「潔淨度(Cleanliness)」與「運動控制(Motion Control)」有著全行業最嚴苛的標準。伯堅引進符合 SEMI 國際標準安全規範之高階自動化核心,包含精密矽晶圓傳送晶圓機器人(Wafer Robot)、晶圓開盒裝載系統(EFEM)、全自動化濕式清洗與乾式表面電漿處理(Plasma Treatment),完美阻絕空中分子污染物(AMC)並將微塵顆粒(Particle)降至絕對極限。
晶圓開盒與超高速智能對位 (EFEM / Aligner)
配備高靈敏度雷射與視覺對位演算法,確保晶圓在高速取放過程中,晶圓缺口(Notch)或平邊(Flat)定位分毫不差。
SECS/GEM 智慧工廠通訊協議完美相容
全系列自動化設備控制軟體皆內建標準半導體通訊協議,可與大廠的 MES(製造執行系統)及 OHT 系統無縫串聯、即時派工。