【每週快訊】無塵室用ROBOT

無塵室用ROBOT

【川崎無塵室專用robot的特點】
能夠搬運對高精度的半導體晶圓，
並滿足客戶需求，具備高速搬運、高精度定位、高智慧teaching等功能
在速度、精度與延展範圍方面，適用於半導體晶圓、LCD 面板、有機 EL、太陽能電池板的搬運。實現不需要走行軸即可對應4port的EFEM，另外，伺服電機可滿足高速高精度的 定位精確度要求，配合減速機驅動實現長期穩定的矽片取放精度。

Kawasaki robot的特點

採用區別於其他手臂廠商的減速機驅動方式。對應強扭矩，使重量・負載大的長臂也可實現穩定、高速、精準的動作。

NT系列(Non-track solution）

向後偏移手臂旋轉中心，實現了長臂的獨創結構。以往沒有導軌就不可對應的4W佈局

Kawasaki的NT系列無需導軌，單用長臂就可實現4W ACCESS