【每週快訊】半導體用機械手臂

【每週快訊】半導體用機械手臂

  • 與常規機相比,提高了零件、規格的共通率,實現了低價位。
  • 獨自的高速替換系統,晶圓替換時間削減了50%。
  • 採用新的控制系統,動作更高速平穩。
  • 與常規機相比運動範圍縮小了15%,調節器的容積也縮小了50%。
  • 對應SEMI F47。
  • 可對應2FOUP無軌道。
  • 可裝Mapping sensor。

 2022-05-05

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