MTP
廠 牌 : TAZMO
適用高真空的機器人
實現了低震動，低噪音是本公司產品實現高速傳送，高潔淨度的旗艦版。
- 採用分支構造，將雙手掌的迴旋半徑控制在最小，傳送距離最大延伸的真空智能裝置。
- 全軸採用伺服電機，根據獨自的構造支持10＾-6Pa的真空環境。
- 也可以提供無升降功能(z軸)的機型。(另行洽詢)
- 關於End effeto，晶圓接觸部位的材質請另行洽詢
| 適用對象 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA規格晶片 | |
| 6英吋 MASK | |
| 作動範圍 | R軸：330㎜(機械臂最大到達距離，不含End effeto) |
| T軸：370deg(原點：±185deg) | |
| Z軸：104㎜ | |
| 往返精準度 | X,Y方向：±0.1㎜ |
| Z軸：±0.05㎜ | |
| 晶圓保持方式 | 下拖式 |
| 晶圓保持確認 | N/A |
| 耐真空度 | 10＾-6Pa |
| 控制方式 | RS232C,RS-485 |
| 適用電源 | 電源：單向AC200V～230V±10％ 5A 1系統 |
| 重量 | 本體：约76kg |
| 控制裝置(MCQ)：約16kg |
永遠超越客戶的期待
ALWAYS GOES BEYOND CUSTOMERS' EXPECTATIONS