產品概述

• 利用狹縫狀噴嘴（スリットノズル）將塗液精確吐出，並在工作物表面以移動方式形成均勻膜厚。​

• 可搭載膜厚測定機構，進行即時膜厚監測與反饋控制，確保塗佈均一度及再現性。​

• 適用於多種塗佈材料，且可對圓形基板等各種形狀工件進行塗佈，廣泛應用於半導體晶圓、光學元件、顯示面板基板等領域。

核心特點

• 低粘度送液：採用管狀膜幫浦（チューブフラムポンプ）送液方式，對數cps低粘度材料具優異輸送穩定性。​

• 自動平行調整：桌面與噴嘴的平行度採自動調整設計，噴嘴更換後可自動定位，顯著縮短停機時間。​

產品型號與規格