UTX-1000系列機械手臂(Robot)維修
廠 牌 : MECS
應用設備製程：目前廣汎使用於半導體CVD、離子注入、膜厚測定、擴散爐設備
仕樣：
重覆精度 ±0.1mm以內
潔淨度 Class 10
搬送物 Wafer 2”~8”可搬重量200g
供給源 AC100V 50/60Hz 8A真空400mmHg以上
維修交期 2~3週
保固 6個月
永遠超越客戶的期待
ALWAYS GOES BEYOND CUSTOMERS' EXPECTATIONS
廠 牌 : MECS
應用設備製程：目前廣汎使用於半導體CVD、離子注入、膜厚測定、擴散爐設備
仕樣：
重覆精度 ±0.1mm以內
潔淨度 Class 10
搬送物 Wafer 2”~8”可搬重量200g
供給源 AC100V 50/60Hz 8A真空400mmHg以上
維修交期 2~3週
保固 6個月
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