OF-250非接觸式Aligner
廠 牌 : MECS
應用設備製程：目前廣汎使用於半導體CVD、PVD、CD SEM、洗淨機設備
仕樣：
分解能 0.125°
精度 ±0.25°
潔淨度 Class 1
對應規格 4" ~ 8" Wafer (2"~3"特別仕樣對應)
供給源 AC100V2A 真空400mmHg以上
維修交期 2~3週
保固6個月
維修流程
永遠超越客戶的期待
ALWAYS GOES BEYOND CUSTOMERS' EXPECTATIONS
廠 牌 : MECS
應用設備製程：目前廣汎使用於半導體CVD、PVD、CD SEM、洗淨機設備
仕樣：
分解能 0.125°
精度 ±0.25°
潔淨度 Class 1
對應規格 4" ~ 8" Wafer (2"~3"特別仕樣對應)
供給源 AC100V2A 真空400mmHg以上
維修交期 2~3週
保固6個月
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