應用設備：真空環境之LCD玻璃基板 / 半導體晶圓搬送設備廣泛使用

仕樣：

重覆精度 ±0.1mm以內

潔淨度 Class 10

搬送物 基板尺寸 MAX500mm 可搬重量4KG

搬送物 Wafer 2”~8”可搬重量200g

供給源 AC100V 50/60Hz 12A

維修交期 2~3週