應用範圍

◎ 半導體產業12吋晶圓載具(FOUP)臨時儲存與傳送的搬送系統

產品特點

• 快速輸入/輸出和儲存的優點
• 縮短製程設備間運送的時間差
• 具有高密度與數量的儲存效能
• 遠離微粒及汙染的問題
• 可依客戶需求而客製擴展或縮小儲存容量
• 能與客戶現有設備進行集成設計安裝