搭載伺服電機

本產品是對應直徑300mm晶圓的智能傳送機器人。

是本公司產品實現高速傳送，高潔淨度的旗艦版。

• 以無導軌方式對應3FOUP。
• 通過替換裝置，實現了晶圓的高速替換。
• 可以加購選擇Mapping sensor。
• R、θ部與升降部分可分離的構造，讓日常的保養更簡單。 可以對應大行程的升降高度。
• 提升機械臂的剛性,也為您準備了傳送450mm晶圓的機型。