TT300A-WA
搭載伺服電機，本產品是應對EFEM開發的低價格、高性能智能傳送機器人，採用新的控制系統，動作更高速平穩。 與常規機相比運動範圍縮小了15%，調節器的容積也縮小了50%。
搭載伺服電機
本產品是應對EFEM開發的低價格、高性能智能傳送機器人
- 與常規機相比，提高了零件、規格的共通率，實現了低價位。
- 獨自的高速替換系統，晶圓替換時間削減了50%。
- 採用新的控制系統，動作更高速平穩。
- 與常規機相比運動範圍縮小了15%，調節器的容積也縮小了50%。
- 對應SEMI F47。
- 可對應2FOUP無軌道。
- 可裝Mapping sensor。
| 適用對象 | Φ100㎜～Φ300㎜ |
| SEMI/JEITA規格晶片 | |
| 作動範圍 | R軸：346㎜(機械臂最大到達距離) |
| T軸：370deg(原點：±185deg) | |
| Z軸：330㎜ | |
| 往返精準度 | R轴：±0.1㎜ （3σ) |
| T轴：0.02deg （3σ) | |
| Z轴：±0.05㎜ （3σ) | |
| 晶圓保持方式 | 可客製化 |
| 晶圓保持確認 | 依robot真空傳感器顯示 |
| 控制方式 | RS232C,ETHERNET |
| 適用電源 | 電源：單向AC200V～230V 7.5A 1系統 |
| 真空：-80kPa以下 15L/min以上 1系統 （Φ6 ×Φ4 聚氨酯管 簡易接頭 連結） | |
| 重量 | 本體：约35kg |
| 控制裝置(TT300A)：约10kg |
永遠超越客戶的期待
ALWAYS GOES BEYOND CUSTOMERS' EXPECTATIONS